工作状态下半导体激光器中电场分布的测量方法及装置

摘要

连续波电光检测技术测量半导体激光器场分布的方法及装置：方法特征是探测激光垂直解理面透射处于工作状态的被测半导体激光器，其本身发出的激光经分离和/或滤去；装置特征是半导体激光器与检偏器间增设显微镜系统、分光和/或滤光装置，给半导体激光器设置可调偏置电流源。该装置可直接测量半导体激光器的场分布，确定其载流子限制、电流扩展特性，为设计和制作提供依据和监控。优点是非破坏无干扰，分辨率和灵敏度高。