靶材凹坑测试装置及其反馈控制走靶方法

摘要

本发明提供了一种靶材凹坑测试装置及其反馈控制走靶方法，包括：测距仪、驱动机构和靶托；所述测距仪驱动连接在所述驱动机构上；所述靶托设置于所述测距仪的检测范围内；所述测距仪检测所述靶托上靶材的台阶面的弧度以及凹坑的缝隙宽度、缝隙深度；所述反馈控制系统根据检测结果调整激光或者靶材的角度，以及判断是否需要对靶材进行更换。本发明能够根据检测到的缝隙深度时判断是否需要对靶材进行更换，提高超导带材的镀膜质量。检测到的缝隙宽度以及台阶面弧度还可以调整激光，使得对带材镀膜控制更为的精准有效。