法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2023-01-06
公开
发明专利申请公布
机译: 束引导系统,用于聚焦地引导例如X射线的X射线束。二氧化碳高功率激光照射到锡滴上进行EUV光刻,具有反射镜,该反射镜可部分补偿光束引起的反射镜导光特性的变化
机译: 激光测量系统,用于测量流体成分,例如储气罐,具有反射镜,激光束通过该反射镜传输到太空,分束器将光束的一部分光束传输到二极管上,二极管的信号被电机用来调整反射镜
机译: 用于物体的激光照明系统,具有包括反射镜的透射光学器件,反射镜反射发射的激光束以构成激光照明束,其中发射轴和主轴线彼此连接。