一种低温共烧陶瓷基板烧平方法

摘要

本申请公开了一种低温共烧陶瓷基板烧平方法，涉及电子元器件制作工艺领域，将待处理巴块切割成多个目标巴块后，放置于第一模具和第二模具拼接叠加所构成的完整模槽中，进行烧结。一方面，完整模槽的狭小空间将限制待处理巴块烧结过程中的翘曲空间，保证目标巴块烧结后的平整度。另一方面，在烧结前对待处理巴块进行切割，形成多个小型目标巴块后进行烧结，更加有利于保证目标巴块烧结后的平整度。此外，完整模槽表面与待处理巴块之间除了隔离层之外还设置有牺牲层，牺牲层气化隔开待处理巴块和隔离层，避免待处理巴块表面沾上过多隔离层残料，便于后续清洗。