一种宽带非接触太赫兹近场显微系统

摘要

本发明公开了一种宽带非接触太赫兹近场显微系统，属于非接触测试技术领域。包括矢量网络分析主机、以及分别与矢量网络分析主机相连接的一号太赫兹S参数测试模块和二号太赫兹S参数测试模块，一号太赫兹S参数测试模块的输出端口连接输入耦合器，二号太赫兹S参数测试模块的输出端口连接输出耦合器，输入耦合器输出参考信号支路和测试信号支路，参考信号支路和测试信号支路输入至输出耦合器，由输出耦合器将参考信号支路和测试信号支路合为一路；测试信号支路上设置有可调耦合谐振近场探针，可调耦合谐振近场探针用于对样品进行近场探测。本发明可以实现微观尺度下待测物质介电属性微小变化的宽带探测，在宽频带内实现探测灵敏度的提高。