MEMS谐振器及其振臂组件

摘要

本申请公开了一种MEMS谐振器及其振臂组件；其中，所述MEMS谐振器振臂组件包括锚固件和振臂；振臂于长度方向上间隔设置有固定端和自由端；所述固定端与所述锚固件连接，所述振臂被配置为靠近所述固定端的根部区域以及靠近所述自由端的头部区域，所述头部区域的质量大于所述根部区域的质量。本申请通过将振臂沿所述振臂长度方向划分成靠近固定端的根部区域和靠近自由端的头部区域，使头部区域的质量大于根部区域的质量，从而利用这一质量分布特征降低了工艺偏差对谐振频率的影响。