外延环形红外卤素加热组件及稳态温度场获取方法

摘要

本发明公开了一种外延环形红外卤素加热组件，包括有反射板和N个环形加热灯，所述N≥1且N为整数，同时N个所述环形加热灯均固定安装在反射板上。本发明具有较高的灵活性，可以快捷的进行安装组合，从而提高了装置整体安装拆卸的工作效率，同时还能够更为高效的适配外延加热场景，也能够高效的利用能源。