光学邻近修正操作方法与光学邻近修正操作装置

摘要

本发明公开一种光学邻近校正操作方法与光学邻近校正操作装置。光学邻近校正操作方法包括以下步骤。获得一光掩模布局图。若光掩模布局图具有至少一缺陷热点，则根据缺陷热点，从光掩模布局图取出至少一局部区域图案。以一机器学习模型分析局部区域图案，以获得至少一光学邻近校正策略。执行光学邻近校正策略，修正光掩模布局图。