基于对称悬臂梁的低频FBG加速度传感器及其制作方法

摘要

本发明公开了一种基于对称悬臂梁的低频FBG加速度传感器及其制作方法，涉及光纤传感技术领域。该加速度传感器包括：悬臂梁、质量块和FBG。首先根据传感器结构的力学模型，推导出传感器的灵敏度和固有频率表达式；然后对传感器进行结构参数优化，采用ANSYS Workbench对传感器进行静应力与模态分析；最后根据分析结果制作传感器。该传感器固有频率为72Hz，灵敏度为681.7pm/g，抗横向干扰度小于4.9％，且体积仅为6.48cm3，可用于50Hz以下的低频微弱振动信号的实时监测。