(甲基)丙烯酸酯树脂、活性能量射线固化性(甲基)丙烯酸酯树脂组合物、和抗蚀下层膜、以及(甲基)丙烯酸酯树脂的制造方法

摘要

提供：通过具有低粘度/低极性从而能用于超微细化了的布线图案形成的(甲基)丙烯酸酯树脂。一种(甲基)丙烯酸酯树脂，其是使中间反应产物与不饱和一元羧酸反应而得到的，所述中间反应产物是使选自由1,2,3‑三羟基苯、1,2,4‑三羟基苯和1,3,5‑三羟基苯组成的组中的2种以上的混合物与环氧卤丙烷反应而得到的。