一种太赫兹与近红外双波段电磁场局域增强的微纳结构

摘要

本发明属于电磁场局域增强的微纳结构技术领域，具体涉及一种太赫兹与近红外双波段电磁场局域增强的微纳结构，包括近红外波段捕获结构和太赫兹波段局域场增强结构，所述太赫兹波段局域场增强结构刻蚀在近红外波段捕获结构上。本发明将近红外波段捕获结构与太赫兹波段局域场增强结构相结合，实现在近红外波段对生物分子进行稳定捕获以及增强生物分子太赫兹谐振信号。本发明利用金纳米结构局部表面等离子体增强的特性，激光束经过高数值孔径的物镜聚焦后照射在金属层表面可以产生光学捕获场，实现近红外波段生物分子的捕获；采用长度为微米尺度以及宽度为纳米尺度的矩形槽实现太赫兹波段局域场增强。