一种MEMS加速度计温度误差等效补偿方法

摘要

本发明公开了一种MEMS加速度计温度误差等效补偿方法，对MEMS加速度计进行温度误差分数阶建模，根据建模所得的分数阶模型建立等效补偿电路，利用等效补偿电路对MEMS加速度计的输出进行补偿。本发明利用温度误差模型的等效模型建立MEMS加速度计误差分数阶模型，避免了复杂的建模过程又能具有较高建模精度。