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压印模具用光硬化性树脂组合物、树脂模具、使用该树脂模具的图案形成方法、具有该树脂模具的复合体、该复合体的制造方法及光学部件的制造方法

摘要

本发明将压印模具用光硬化性树脂组合物形成为如下组合物,该组合物包含成分(a):具有至少1个(甲基)丙烯酰氧基的氟系(甲基)丙烯酸酯单体、及具有至少1个(甲基)丙烯酰氧基的二烷基硅氧烷系(甲基)丙烯酸酯单体中的至少任一者;以及成分(b):下述式(1)所表示的具有2个(甲基)丙烯酰氧基的非环式二官能(甲基)丙烯酸酯单体;且所述成分(a)与所述成分(b)的调配比以质量比计为1~97:99~3,所述成分(b)的分子量为700以下。

著录项

  • 公开/公告号CN115250635A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-10-28

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东洋合成工业株式会社;

    申请/专利号CN202180019560.X

  • 发明设计人 田中理沙;加藤史修;大幸武司;

    申请日2021-02-17

  • 分类号H01L21/027;C08F220/20;C08F220/22;C08F220/26;B29C59/02;

  • 代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司;

  • 代理人蒋林清

  • 地址 日本千叶县

  • 入库时间 2023-06-19 17:20:47

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-10-28

    公开

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