基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法

摘要

本发明公开了一种基板移送装置，其可以包括：下部绝缘层；上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，并且彼此间隔开；以及多个孔，从所述上部绝缘层的上表面限定到所述下部绝缘层的预定的部分，并且不与所述导电层重叠。