公开/公告号CN115156643A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-10-11
原文格式PDF
申请/专利权人 徐州圣帕斯动力技术研究院有限公司;
申请/专利号CN202210851813.6
申请日2022-07-20
分类号B23H1/00;B23H11/00;
代理机构苏州创策知识产权代理有限公司;
代理人邢明顺
地址 221000 江苏省徐州市贾汪区徐州工业园区中经七路东侧邻里中心A2办公楼
入库时间 2023-06-19 17:07:46
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-10-11
公开
发明专利申请公布
机译: 脉冲操作的气体放电泵浦辐射源,例如准分子激光,一种用于半导体光刻的脉冲能量控制方法,涉及与前一脉冲的电压相比,改变脉冲的充电电压
机译: 用于微芯片制造的脉冲式气体放电激光源的能量调节,通过使用自适应控制因子进行比例调节充电电压,该控制因子通过最小化脉冲能量的均方差确定
机译: 通过使用脉冲激光辐射和两个连续激光脉冲之间的时间间隔可控制的单个激光脉冲能量来加工工件的方法,及其激光加工系统