快速寻峰方法和快速测量激光波长的方法及装置

摘要

一种快速寻峰方法和快速测量激光波长的方法及装置，快速寻峰方法包括：预先在待测激光要形成多级干涉条纹的焦平面上布置能量探测器组，能量探测器组包括紧密排列的M个能量探测器，M≥2，能量探测器组的探测覆盖范围至少等于相邻两级干涉条纹之间的距离。当待测激光在焦平面形成实际干涉条纹时，根据M个能量探测器的探测电压高低分布确定目标寻峰区域，目标寻峰区域为M个能量探测器中特定能量探测器的位置所对应的寻峰区域。在目标寻峰区域内寻找实际干涉条纹的有效峰值位置。实现了对干涉条纹峰值区域的快速预判，实现了波长的实时、高速测量，有利于提高激光器工作时的波长稳定性，有助于提高光刻领域的准分子激光器的输出光谱稳定性。