一种提高介质/Cu/Ag/介质多层透明导电膜可见光区光电性能和透过率均匀性的方法

摘要

本发明公开了一种提高介质/Cu/Ag/介质多层透明导电膜可见光区光电性能和透过率均匀性的方法，是在基底上依次沉积底层介质薄膜和Cu薄膜后，先在空气中放置一段时间，然后再依次沉积Ag薄膜和顶层介质薄膜。在空气中放置可以改变Cu的化学状态，进而增强了对Ag薄膜岛状生长的抑制效果，从而同时提高了多层透明导电膜可见光区光电性能和透过率均匀性。