可见光波段半导体激光器微透镜装调装置

摘要

可见光波段半导体激光器微透镜装调装置，属于半导体激光光学装调技术领域，在光学平台上设置有六维光学调整架、氦氖激光系统、成像监控系统、光斑图像采集系统、光束质量检测系统、分光镜、聚焦镜Ⅰ、聚焦镜Ⅱ以及激光器热沉，光学调整架上设置有镜片夹具，激光器热沉上设置有半导体激光器。本发明利用氦氖激光器发出的激光调节微透镜的角度，再利用半导体激光器发出的激光经过微透镜后照射在光束质量分析仪上测试的指标，及照射到CMOS上被采集的图像，将微透镜调节到最佳位置，具有较高的装调精度。