一种引线键合点可靠性检验装置及检验方法

摘要

本发明提供了一种引线键合点可靠性检验装置及检测方法，所述装置包括：工作台、固定架、基板紧固和运动机构及拉拔机构，基板紧固和运动机构包括基板夹紧件、真空吸盘、支撑滑杆、第一弧形滑道、第二弧形滑道和座体，拉拔机构包括与固定架的所述第一部分的一侧固定连接的固定臂、具有限位板的引线夹、拉伸杆、紧固件、拉伸运动组件和复位件。所述方法基于L型引线的线径、拉力参数、第一、二角度、引线长度和摆动次数，判断并给出键合点可靠性检测结果。本发明能够针对超声键合不同材料键合区单个键合点进行检测；能够有效减少引线脱落和引线根部断裂等失效形式；可适用于摆动检验方式，也可适用于单个键合点的极限拉力测试方式；还能够以摇摆运动的方式进行疲劳老化检验。