一种机械手臂、机械手臂的自动平衡方法以及传送设备

摘要

本发明涉及半导体领域，公开一种机械手臂、机械手臂的自动平衡方法以及传送设备，该机械手臂包括：机架；滑动组件，所述滑动组件沿设定方向可滑动地设置在所述机架上；手臂，所述手臂的一端可转动的安装在所述滑动组件上；调节机构，所述调节机构设置在所述滑动组件和所述手臂之间，用于调节所述手臂相对于所述滑动组件的转动角度；传感器，所述传感器设置在所述手臂，用于实时获取所述手臂的位置信息。用于在不停机的情况下对手臂的进行自动调节。