基于双路错位阵列电容位移传感的MEMS重力仪探头及重力仪

摘要

本发明公开了一种基于双路错位阵列电容位移传感的闭环MEMS重力仪探头及重力仪，属于仪器仪表领域。探头包括：电容位移传感模块、电容检测电路模块、PID控制模块及反馈执行机模块，且这几个模块构成磁闭环回路。电容位移传感模块包括两路并行且错位m/4个极板周期的动极板阵列，其中，m为正整数，当其中一路动极板阵列与定极板阵列构成的位移传感器处于非敏感区间时，另一路动极板阵列与定极板阵列构成的位移传感器正好处于敏感区间并用于检测振子位移。本发明的探头可有效避免现有单路阵列极板输出由于质量块下垂量不可控导致的位移检测失效的问题，提升了检测灵敏度，且采用闭环工作模式，提高探头响应时间，具有更强的抗干扰能力。