公开/公告号CN115023786A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-09-06
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN202080094170.4
申请日2020-12-17
分类号H01J37/02;H01J37/26;H01J37/317;
代理机构北京市金杜律师事务所;
代理人张宁
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 16:41:23
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-09-06
公开
国际专利申请公布
机译: 使用带电粒子系统中的电压对比度进行缺陷检查的系统和方法
机译: 带电粒子/晶圆缺陷检查和检查的带电粒子系统
机译: 带电粒子系统中高吞吐量缺陷检查的系统和方法