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蒸镀掩模中间体、蒸镀掩模、掩模装置及蒸镀掩模的制造方法

摘要

具备:带状部;框状部,包围所述带状部;以及连结部,位于带状部与框状部之间,将带状部连结于框状部。带状部具备具有一对长边和一对短边的边缘、具有多个掩模孔的掩模部、以及包围掩模部的周边部。长边的延伸方向为带状部的长边方向。周边部之中,在长边方向上的掩模部与短边之间存在有脆弱部,该脆弱部具有从一方的长边朝向另一方的长边延伸的形状。

著录项

  • 公开/公告号CN115003851A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-09-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 凸版印刷株式会社;

    申请/专利号CN202180009116.X

  • 发明设计人 松隈香;相川建一郎;小林昭彦;

    申请日2021-01-28

  • 分类号C23C14/04;H05B33/10;C23C14/24;H01L51/50;

  • 代理机构永新专利商标代理有限公司;

  • 代理人戚宏梅

  • 地址 日本东京都

  • 入库时间 2023-06-19 16:38:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-02

    公开

    国际专利申请公布

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