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一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器

摘要

本发明涉及一种SMIF开合器与自动搬送系统交互的控制方法及SMIF开合器,该控制方法包括以下步骤:在SMIF开合器里增加一个DIO通讯板;E84收发器通过DIO通讯板与SMIF开合器中SMIF控制板连接;SMIF控制板通过通讯口将E84收发器从主动端接收到的信号转发到主设备控制器;主设备控制器依据SEMI协议将回馈信号通过通讯口回传给SMIF控制器;再由SMIF控制器通过DIO通讯板传送到E84接发器,完成E84通讯功能。其优点在于:提供了具有对接功能的SMIF开合器,由SMIF开合器来代替或者辅助主设备控制器完成与自动搬送系统的E84交互对接;解决了现有机台不具有E84功能或者原厂商不配合升级E84功能的问题。

著录项

  • 公开/公告号CN114955552A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-08-30

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 上海大族富创得科技有限公司;

    申请/专利号CN202210724411.X

  • 申请日2022-06-23

  • 分类号B65G49/07;B65G43/08;H01L21/677;

  • 代理机构上海乐泓专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人张雪

  • 地址 201112 上海市闵行区万芳路555号1号楼2楼

  • 入库时间 2023-06-19 16:38:15

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-09-16

    实质审查的生效 IPC(主分类):B65G49/07 专利申请号:202210724411X 申请日:20220623

    实质审查的生效

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