观察装置、观察方法和观察对象物

摘要

本发明观察装置、观察方法和观察对象物能够更准确地获取关于改性区域的位置的信息。观察装置包括：摄像部，其具有用于使相对于对象物具有透射性的透射光向所述对象物聚光的聚光透镜，用于利用所述透射光对所述对象物进行摄像；用于使所述聚光透镜相对于所述对象物相对地移动的移动部；和用于至少控制所述摄像部和所述移动部的控制部，所述对象物具有第1面和所述第1面的相反侧的第2面，在所述对象物设置有与所述第1面和所述第2面交叉的Z方向上的位置的实测值已知的标记。