真空排气装置以及用于该真空排气装置的真空泵

摘要

本发明提供一种能够高精度且高速地控制被排气室内的压力的真空排气装置以及用于其的真空泵。具有：真空泵（1），具备通过旋转而将被排气室（4）的内部排气的转子、具有吸气口的壳体；阀（2），配置在真空泵（1）的吸气口与被排气室的排气口之间；控制装置（3），将被排气室（4）的内部的压力控制为与目标值一致。控制装置（3）中，在被排气室（4）的内部的压力与目标值的差的绝对值大于既定值时调整阀（2）的开度，在被排气室（4）的内部的压力与目标值的差的绝对值小于既定值时调整真空泵（1）的转子的旋转速度。