表面检查装置及形状矫正装置以及表面检查方法及形状矫正方法

摘要

本发明提供一种与以往相比在短时间内高精度地评价成型品的形状的表面检查装置及形状矫正装置以及表面检查方法及形状矫正方法。本发明的表面检查装置具备：点测量传感器(201)，其对设定于被检查体(101)的表面的规定点(102)的位置分别进行测量；面测量传感器(202)，其通过同时测量被检查体(101)的多个点的位置来测量包含多个规定点(102)的规定面(103)的形状；以及变形量运算部(3)，其根据由点测量传感器(201)测量出的规定点(102)的位置以及由面测量传感器(202)测量出的规定面(103)的法线方向来求被检查体(101)的自基准形状的变形量。