一种磁化射频等离子体制备超细高纯球形钛粉的方法

摘要

本发明属于金属材料技术领域，提供了一种磁化射频等离子体制备超细高纯球形钛粉的方法，该方法通过在射频等离子体球化钛粉的射频电离段增加一个磁镜位型磁场。该方法通过利用磁镜位型磁场约束射频电离段的电子逃逸，降低等离子体电子的径向逃逸和纵向逃逸损失，提高射频等离子体的电子密度和电子温度，提高射频等离子体的电能利用率。随氩气进入放电室的大直径钛颗粒在高电子密度等离子体中带电，当静电库仑排斥力大于熔融钛金属的动力粘滞阻力时驱使大直径钛颗粒分裂，从而形成较小直径的钛颗粒。通过本方法能够更低成本和更高效率地制备出用于3D打印的超细(粒径小于5μm)、高纯度(氧含量<0.1％)、球形(球形度优于98％)的纯钛粉。