包含分层级堆叠的微电子装置及相关电子系统及方法

摘要

本申请案涉及包含分层级堆叠的微电子装置以及相关电子系统及方法。一种微电子装置包括：堆叠结构，其包括布置在层级中的导电结构与绝缘结构的竖直交替序列，所述堆叠结构划分为通过狭槽结构彼此分离的块结构；存储器单元串，其竖直延伸穿过所述堆叠结构的所述块结构，所述存储器单元串个别地包括竖直延伸穿过所述堆叠结构的沟道材料；额外堆叠结构，其竖直上覆在所述堆叠结构上且包括布置在额外层级中的额外导电结构与额外绝缘结构的竖直序列；第一支柱，其延伸穿过所述额外堆叠结构且竖直上覆在所述存储器单元串上，所述第一支柱中的每一者从对应存储器单元串的中心水平偏移；第二支柱，其延伸穿过所述额外堆叠结构且竖直上覆在所述存储器单元串上；及额外狭槽结构，其包括介电材料，所述介电材料延伸穿过所述额外堆叠结构的至少一部分且将所述块结构中的每一者细分为子块结构，所述额外狭槽结构水平相邻于所述第一支柱。还描述了相关微电子装置、电子系统及方法。