蒸发方法、蒸发设备和蒸发源

摘要

一种蒸发方法，包括：在坩埚中提供要蒸发的源材料；在所述坩埚中产生第一温度分布，来蒸发布置在所述坩埚的第一子容积中的所述源材料的第一部分；以及在所述坩埚中产生与所述第一温度分布不同的至少第二温度分布，来蒸发布置在所述坩埚的第二子容积中的所述源材料的第二部分。这可扩展到所述坩埚的多个可选择性加热的子容积，在这些子容积之间有或没有物理屏障。