增强型氮化镓器件位移损伤效应的测试方法及系统

摘要

本发明公开了一种增强型氮化镓器件位移损伤效应的测试方法及系统，该方法包括：将待测器件进行分组编号，得到增强型氮化镓器件组和耗尽型氮化镓器件组；将增强型氮化镓器件组和耗尽型氮化镓器件组进行电学性能测试，并记录第一测试结果；将增强型氮化镓器件组和耗尽型氮化镓器件组进行质子辐照；将质子辐照后的增强型氮化镓器件组和耗尽型氮化镓器件组进行电学性能测试，并记录第二测试结果；基于增强型氮化镓器件组的第二测试结果和第一测试结果的比较分析，得到第一比较结果；基于耗尽型氮化镓器件组的第二测试结果和第一测试结果的比较分析，得到第二比较结果；基于第一比较结果和第二比较结果确定待测器件对位移损伤效应电荷收集的敏感区域。