公开/公告号CN114596809A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-06-07
原文格式PDF
申请/专利权人 西安诺瓦星云科技股份有限公司;
申请/专利号CN202011306006.3
申请日2020-11-19
分类号G09G3/32;
代理机构深圳精智联合知识产权代理有限公司;
代理人邓铁华
地址 710075 陕西省西安市高新区科技二路72号西安软件园零壹广场DEF101
入库时间 2023-06-19 15:35:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-06-07
公开
发明专利申请公布
机译: 温度测量装置的校准方法,光刻设备和物品的制造方法