二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置

摘要

本发明提供了一种二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置，该二次谐波表征光学系统通过增加Z向随动模块和Z向测高模块，由Z向测高模块获取待检测样品表面不同位置处的高度信息；在XY面运动模块带动待检测样品在XY面扫描的过程中，Z向随动模块根据待检测样品表面不同位置处的高度信息，Z向调节样品台，以使基频光始终聚焦在待检测样品表面。从而克服由于待检测样品表面由于微观上呈凸凹不平的波动曲面，而导致的基频光不能始终聚焦在待检测样品表面的现象；提高SHG出射信号所携带的缺陷信息的准确性，从而提高基于二次谐波表征方法对待检测样品检测的表征精度。