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二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置

摘要

本发明提供了一种二次谐波表征光学系统和基于二次谐波表征的检测装置,该二次谐波表征光学系统通过使起偏器和检偏器均定轴旋转,分别驱动起偏器和检偏器进行多次旋转,在每次旋转过程中,起偏器被旋转到Ai位置以改变基频光的偏振态的同时,检偏器被旋转到与Ai位置对应的Bi位置,使依赖于Ai位置起偏器形成的基频光,经待检测样品产生的二次谐波信号能够收集于探测器内,获得Ai位置起偏器对应偏振依赖的二次谐波信号。在检测待检测样品的晶型和晶向时,可以通过多次旋转起偏器的过程中使检偏器配合联动,获取偏振依赖的二次谐波信号的周期,利用偏振依赖的二次谐波信号直接判断待检测样品的晶向和晶型,简化设备结构,降低成本。

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  • 法律状态公告日

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    法律状态

  • 2022-06-03

    公开

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