一种用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化剂组合物

摘要

本发明涉及多晶硅生产工艺技术领域，具体涉及一种用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化剂组合物。本发明采用CuCl作为四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的基础催化剂，将不同金属氯化物与硅粉进行混合用于四氯化硅冷氢化制备三氯氢硅的催化反应，解决了单纯使用CuCl作为催化剂所存在的转化率低、易流失等问题。本发明所提供的催化剂组合物不需要前处理也不需要活化。具有制备过程简单，而且无耗能，不需要多余的原料等优势。显著提高了冷氢化反应中四氯化硅的转化率。