一种吸附旋转装置及单片式晶圆清洗机

摘要

本发明提供了一种吸附旋转装置及单片式晶圆清洗机，该吸附旋转装置包括：吸附旋转组件，与吸附旋转组件连接且表面开设若干个气槽的安装台，表面开设若干与气槽相连通的吸附孔的柔性层，以及设置于柔性层上方的压环；柔性层包括平直部，凹陷部以及翘起部；安装台的圆周处凹陷形成供凹陷部和压环周向嵌入的环槽，当翘起部贴合晶圆边缘后，由吸附旋转组件对柔性层与晶圆共同围合形成的区域抽吸空气，以共同吸附晶圆。通过本申请，实现了一个吸附旋转装置同时适用于对平面晶圆和曲面晶圆的吸附，从而可以实现一台单片式晶圆清洗机同时适用于面晶圆和曲面晶圆，增强了设备的多功能性和实用性。