一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件及单片式清洗机

摘要

本发明提供了一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件及单片式清洗机，包括：喷液管，同轴套设于喷液管的气流管，喷液管底端设置抵持气流管的旋流器，旋流器同轴内嵌分液器；分液器沿环形凹设若干用于均匀分散喷液管内液体的导液槽，旋流器沿环形凹设若干用于引导气流管内气体旋向排出的离心气槽，离心气槽形成气体出口处并面向导液槽内设供液体流通的导向流道，以引导气体将液体破碎为均匀且更小的呈雾化状的液滴。通过申请实现了对药液的破碎效果好，以提升药液对晶圆的清洗效果，提高晶圆清洗的洁净程度。