一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备及检测方法

摘要

本发明的一种原料硅片的内外部缺陷在线检测设备及检测方法，属于机器视觉感知技术领域，包括传输装置、分选装置和检测装置，传输装置穿过检测装置，检测装置包括外壳、触发装置和图像采集装置，外壳上设有贯穿的开口，传输装置位于开口内，图像采集装置安装在外壳的内顶部，触发装置位于传输装置的下方，传输装置上传输原料硅片，触发装置包括光电传感器、编码器、传感器支架和编码器支架，编码器通过编码器支架与传输装置连接，图像采集装置与编码器、光电传感器和分选装置电性连接，分选装置位于传输装置的上方，通过图像采集装置对原料硅片进行图像采集，进一步分析采集的信息来识别缺陷。