小抽速离子泵寿命考核装置及寿命考核方法

摘要

本发明公开了一种小抽速离子泵寿命考核装置及寿命考核方法。该小抽速离子泵寿命考核装置氢源罐、提纯器、三通、被测离子泵、真空阀门、分子泵组以及数据处理器。氢源罐上设置有开关阀；提纯器通过连接管与开关阀连接；三通包括第一端口、第二端口以及第三端口，第一端口与提纯器密封连接；被测离子泵与第二端口密封连接，被测离子泵通过高压电源加电；真空阀门与第三端口密封连接；分子泵组与真空阀门连接；数据处理器用于对被测离子泵高压电源离子流数据进行采集和处理。本发明的小抽速离子泵寿命考核装置，可以客观、真实、有效的考核被测离子泵在特定气体负载下的使用寿命，能够提高氢原子频标整机可靠性与寿命评估的精度。