公开/公告号CN114496841A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-13
原文格式PDF
申请/专利权人 徐州市沂芯微电子有限公司;
申请/专利号CN202111600955.7
申请日2021-12-24
分类号H01L21/67;
代理机构
代理人
地址 221400 江苏省徐州市新沂市311国道一带一路智慧光电产业园18栋
入库时间 2023-06-19 15:16:37
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-31
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 专利申请号:2021116009557 申请日:20211224
实质审查的生效