流量检测装置及气体质量流量控制器

摘要

本发明提供一种流量检测装置及气体质量流量控制器，该装置包括主通道、旁通通道和MEMS流量传感器，其中，主通道用于传输被测气体，且在主通道中设置有分流器；旁通通道的两端分别在分流器的进气端和出气端两侧与主通道连通，且旁通通道包括沿气体传输方向依次设置的渐缩段、直管段和渐扩段，其中，直管段的水力直径满足使通过直管段的气体流动状态为层流；MEMS流量传感器设置于直管段的通道壁上，且MEMS流量传感器的检测面暴露于直管段中，用于检测直管段中的气体流量。