气体流量对硼预扩散质量的影响

摘要

通过建立浓硼掺杂预扩散工艺的仿真模型,模拟了通入不同流量气体时的流场,找到了一个较为合 理的流量,使得此时的流场分布均匀。经实验证明,在此气体流量下,扩散后的硅片均匀性较好,达到指 标要求。