法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-04-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01Q 70/10 授权公告日:20130417 终止日期:20170402 申请日:20070402
专利权的终止
2013-04-17
授权
授权
2013-04-17
授权
授权
2009-12-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-12-16
实质审查的生效
实质审查的生效
2008-04-09
公开
公开
2008-04-09
公开
公开
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机译: 具有电阻性尖端的半导体探针及其制造方法,以及具有该半导体探针的信息记录设备,信息再现设备和信息测量设备
机译: 具有电阻性尖端的半导体探针及其制造方法,以及具有该半导体探针的信息记录设备,信息再现设备和信息测量设备
机译: 具有电阻性尖端的半导体探针及其制造方法,以及具有该半导体探针的信息记录设备,信息再现设备和信息测量设备