公开/公告号CN114428774A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-05-03
原文格式PDF
申请/专利权人 北京奥星贝斯科技有限公司;
申请/专利号CN202210340354.5
申请日2022-04-02
分类号G06F16/21;G06F16/22;G06F16/28;
代理机构北京亿腾知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人张明;周良玉
地址 100102 北京市朝阳区望京东园四区13号楼-4至33层101内23层201室
入库时间 2023-06-19 15:08:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-05-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G06F16/21 专利申请号:2022103403545 申请日:20220402
实质审查的生效
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置