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公开/公告号CN114383587A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-22
原文格式PDF
申请/专利权人 金田产业发展(山东)集团有限公司;
申请/专利号CN202210293685.8
发明设计人 刘振伟;魏君;程影;王东;王世昌;曾建伟;亓学勇;张然;
申请日2022-03-24
分类号G01C15/00;G01S19/43;
代理机构山东高景专利代理事务所(特殊普通合伙);
代理人高小荷
地址 250000 山东省济南市历城区唐冶西路868号山东设计创意产业园北区21号楼301室
入库时间 2023-06-19 15:02:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-22
公开
发明专利申请公布
机译:实现AT开发的搭载了独创技术的单晶圆清洗装置封闭式清洗装置,能够将旋转湿法处理与高精度气体控制相结合并与干燥装置相结合
机译:东芝机械开发用于模制高精度片材的高精度辊驱动装置
机译:高精度卷驱动装置的开发,对应于东芝机械和高精度片薄膜的成型
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机译:平板显示器和图像拾取装置上高质量运动图像的研究
机译:骨支抗装置与上颌面具前牵引装置治疗青少年骨性Ⅲ类错畸形疗效比较的Meta分析
机译:电子束光刻系统的高精度束偏转技术研究