基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置

摘要

本发明公开了基于空间节约功能复合的晶圆清洗干燥检测集成装置，包括机身、晶圆干燥机构、超声波清洗机构、晶舟摆臂机构、晶舟翻转机构、晶圆检测机构和干燥水箱；晶圆干燥机构和超声波清洗机构并列安装在机身上，晶舟摆臂机构安装在机身上，晶舟翻转机构安装在晶圆干燥机构上；晶圆检测机构设置在机身的台面上，干燥水箱设置在机身上。本发明基于模块化设计，将三种工艺集成在一个机器上，实现了全程自动化动作，避免了人工的接触，减少了搬运。