使用FIB制备截面样品的方法和截面样品的观察方法

摘要

本申请涉及一种使用FIB束制备截面样品的方法和截面样品的观察方法。该使用FIB束制备截面样品的方法包括：提供半导体结构，在半导体结构的表面选择目标区域；在目标区域上形成保护层；在目标区域周围选择第一区域，第一区域包括除所述目标区域之外的部分区域或全部区域；沿第一方向减薄第一区域对应的第一半导体结构，使第一半导体结构与目标区域对应的第二半导体结构沿第一方向具有一高度差；减薄目标区域对应的第二半导体结构，使第二半导体结构沿第二方向具有一目标厚度，其中，第二方向垂直于第一方向。该方法可以缩短使用FIB制备截面样品的时间，同时获得完整且方便观察的截面样品，提高对样品观察的准确性。