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一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置及其分离方法

摘要

本发明公开了一种晶片掩膜工装用物料自动分离装置及其分离方法,涉及晶片掩膜技术领域;为了解决难以稳定将石英晶片分离出来的问题;本装置具体包括安装板和进料板,所述安装板一侧外壁固定有弹性伸缩杆,安装板底部外壁滑动连接有导向杆,导向杆底部外壁固定有支撑架,弹性伸缩杆一侧外壁固定有筛分框,筛分框一侧外壁设置有推动机构;石英晶片的分离方法包括如下步骤:将待分离的石英晶片放入进料板,随后启动进料板、步进电机和传送板。本发明再通过筛分框对石英晶片进行稳定筛分的同时,可以避免石英晶片在筛分时从筛分框内掉出,同时避免筛分框内部发生阻塞和石英晶片卡在筛分孔内壁的情况出现,提高了物料的分离效率。

著录项

  • 公开/公告号CN114308644A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2022-04-12

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 浙江蓝晶芯微电子有限公司;

    申请/专利号CN202210037184.3

  • 发明设计人 张斌;郑宝春;郑宝生;

    申请日2022-01-13

  • 分类号B07B1/30(20060101);B07B1/42(20060101);B07B1/46(20060101);B07B1/52(20060101);

  • 代理机构44504 深圳市兰锋盛世知识产权代理有限公司;

  • 代理人吴巧华

  • 地址 321000 浙江省金华市兰溪经济开发区江南高新园区致远路85号

  • 入库时间 2023-06-19 14:56:10

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2022-04-12

    公开

    发明专利申请公布

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