公开/公告号CN114322880A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中铁第四勘察设计院集团有限公司;
申请/专利号CN202111481086.0
申请日2021-12-06
分类号G01B21/02(20060101);G01C9/00(20060101);
代理机构11270 北京派特恩知识产权代理有限公司;
代理人任晓;张颖玲
地址 430060 湖北省武汉市武昌杨园和平大道745号
入库时间 2023-06-19 14:53:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布
机译: 气缸装置,压机装置,压脚装置,气缸装置的操作方法,压脚方法及压机方法
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置