公开/公告号CN114324114A
专利类型发明专利
公开/公告日2022-04-12
原文格式PDF
申请/专利权人 中国电建集团成都勘测设计研究院有限公司;
申请/专利号CN202210005726.9
申请日2022-01-05
分类号G01N15/08(20060101);
代理机构51124 成都虹桥专利事务所(普通合伙);
代理人林天福
地址 610072 四川省成都市青羊区浣花北路1号
入库时间 2023-06-19 14:53:05
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-12
公开
发明专利申请公布
机译: 半导体装置检查方法,半导体装置制造方法以及检查装置